中微半导体设备(上海)股份有限公司
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电子/半导体/集成电路· 1000-2000人· 科创板上市

中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称:中微公司)是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司。以微观加工为核心的半导体设备,是数码时代的战略性基础。自2004年创立以来,中微公司致力于为全球集成电路和泛半导体制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务,是所在领域中国的领军企业和世界的新星。 中微公司坚持“三维发展”战略,2022年营业收入达到47.4亿元人民币,拥有超过2250件专利,并有累积超过3,300个反应台在中国大陆和中国台湾地区、新加坡、韩国、日本、德国、意大利等国家和地区客户的106条生产线上量产。 • 在集成电路制造设备维度:中微公司的等离子体刻蚀(Etch)设备包括电容性高能等离子体(CCP)刻蚀设备和电感性低能等离子体(ICP)刻蚀设备,拥有单台机、双台机的独特设计,已广泛应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及下一代更先进的芯片生产线上。适用于超高深宽比结构刻蚀的CCP刻蚀设备性能已经达到国际一流水平;适用于超高精度刻蚀工艺的ICP刻蚀设备的刻蚀均匀性可以达到原子级的水平;应用ICP技术的深硅(TSV)刻蚀设备,在先进系统封装、2.5维封装和微机电系统芯片等的刻蚀领域继续获得批量重复订单。此外,公司在开发集成电路前端所需要的多种薄膜沉积类设备,包括低压化学气相沉积设备(LPCVD)、生长硅及锗硅极关键的外延设备(EPI)等,并已取得了可喜的进展。2022年开始推出12英寸LPCVD设备具有优秀的薄膜均一性、填充能力和工艺调节灵活性,在常规互联线,极高深宽比结构和三维结构填充均达到国际先进水平。 • 在泛半导体设备维度:用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备已在客户生产线上投入量产。中微的氮化镓基MOCVD设备在新一代Mini-LED产业化中,在蓝绿光LED生产线上取得了领先地位。公司正在开发的用于碳化硅功率器件的外延设备,以及制造Micro-LED的MOCVD专用设备。 • 其他战略新兴领域:聚焦环境保护节能减排设备和清洁能源的 “中微惠创”、开发中小企业营运软件系统的 “中微汇链”,以及探索数码技术在大健康领域应用的 “芯汇康”都取得了良好进展,共同推动中微公司实现高速、稳定、健康和安全的发展。 2019年中微公司作为首批科创板企业在上海证券交易所挂牌上市,并成为科创板第一家市值超过1000亿的半导体设备公司。多年来,中微公司及其产品在国内外获得近百次知名奖项,包括: • 第十五届、第二十二届两次中国专利金奖(2013/2021,国家知识产权局) • 国家企业技术中心(2020,国家发改委、科技部、财政部等) • “制造业单项冠军产品”称号(2019,工业和信息化部、中国工业经济联合会) • 第四届中国质量奖提名奖(2021,国家市场监督管理总局) • 中国国际工业博览会第十六届金奖、第十五届银奖(2014/2013,中国国际工业博览会组委会) • 两次“福布斯中国最具创新力企业50强“(2020/2022,福布斯中国) • “2009年度最佳产品奖”(2009,美国《半导体国际》杂志) • 此外,中微公司在美国TechInsights 2018、2019、2021和2023年全球客户满意度评比中连续排名前列,充分展现了中微公司全球领先的竞争力和市场认可度。 中微公司全球总部及产业基地位于上海浦东,随着公司业务的蓬勃发展,新建的南昌产业化基地已于2023年投入运行,上海临港片区在建的产业化基地、总部暨研发大楼也将陆续投入运行。中微公司以开放包容的国际化平台,在中国大陆及境外分公司(中国台湾地区、新加坡、韩国、日本、北美),拥有超过1,500名国际化人才。 在中微,您不仅与“攀登半导体设备技术巅峰”的勇者们同行,还尽享宽广的职业发展平台、完善的薪酬福利、全员持股等全面和长久的回报。加入我们,一起改变数码时代人类的生产和生活方式!
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企业高管

尹志尧 博士董事长 首席执行官

自2004年中微公司成立以来,尹志尧博士一直担任公司的董事长兼首席执行官。他在半导体芯片和设备行业有超过35年的产品开发和管理经验。 尹志尧博士于中国科学技术大学获得了物理化学学士学位,之后在北京大学化学学院获得了硕士学位。他还获得了加州大学洛杉矶分校的物理化学博士学位。尹志尧博士曾在中科院任职研究组组长。目前,他共有89项美国专利和200多项其他海内外专利。

融资情况
072021
主板定向增发 82.10亿人民币
投资机构: GIC新加坡政府投资公司 / 中金公司 / 国泰君安创新投资 / 工银国际 / 广发基金 / 新华保险 / 浦东新产投 / 瑞华控股 / 瑞士银行 / 诺德基金
072019
IPO 15.52亿人民币
投资机构: 未公开
122018
C轮 未披露
投资机构: 上海自贸区基金 / 中金公司 / 临芯投资 / 兴橙资本 / 华登国际 / 四川双马 / 国开金融 / 国投创业 / 浦东新产投
072018
B轮 未披露
投资机构: 上海自贸区基金 / 临芯投资 / 兴橙资本 / 华登国际 / 协鑫集团 / 国开金融 / 国投创业 / 浦东新产投
022018
Pre-B轮 未披露
投资机构: 临芯投资 / 兴橙资本 / 四川双马
122016
A轮 未披露
投资机构: 上海自贸区基金 / 中金公司 / 临芯投资 / 兴橙资本
012015
战略投资 3800.00万美元
投资机构: 未公开
  
融资时间线